中芯採購ASML設備 美制裁似對成熟製程鬆綁

中芯國際昨天宣布，耗資12億美元向艾司摩爾（ASML）採購晶片生產設備。據報導，中芯採購的是較舊的DUV（深紫外光）光刻機。美國的科技制裁似乎對成熟製程略有鬆綁。

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路透社報導，荷蘭的半導體設備商艾司摩爾（ASML）3日指出，將延長和中國半導體廠中芯國際的銷售協議到2021年底。

中芯國際也公布，耗資12億美元（約新台幣333億元）向ASML購買晶片生產設備。公告稱，雙方原先的協議是2018年至2020年底，現延長至2021年底。

報導引述ASML的聲明指，本次採購涉及DUV（深紫外光）光刻機這種較舊的技術。

陸媒資本邦也引述資深業內人士表示，中芯可採購到除了EUV（極紫外光）以外幾乎所有的光刻機。

光刻機是半導體生產的重要設備，而ASML生產的EUV光刻機被認為擁有最先進技術，是推進先進製程的關鍵設備。

美中科技戰開打後，美國曾在2018年遊說荷蘭，荷蘭官方隨後也暫緩簽發ASML對中國的EUV光刻機出口許可，此舉重挫中芯探索先進製程的進度。

在EUV光刻機禁運中國後，ASML曾於2020年底在上海的中國國際進口博覽會上，展示號稱能用於7奈米以上先進製程的DUV光刻機。但陸媒科技新報指出，DUV用於先進製程的生產良率仍無法與EUV相比。

中芯2020年底延攬台積電前營運長蔣尚義擔任副董事長，當時有報導指，中芯是想借重蔣尚義和ASML協調取得EUV光刻機。

但路透社報導指出，截至2月，荷蘭官方仍未批准EUV光刻機出貨中國的許可。中芯在先進製程的發展，依然受限。

市場對這次交易的分析呈現兩極。由於美國人工智慧國家安全委員會（NSCAI）日前建議美國和日本、荷蘭協調，拒絕向中國出口關鍵的晶片生產設備。因此路透社引述一名美國的半導體業高層表示，這項交易打臉了NSCAI，也顯示在這個議題上與盟邦存在鴻溝。

不過報導又引述一名與美國總統拜登（Joe Biden）政府關係密切的知情人士表示，美國更在意的，是和中國下一輪的新科技競逐。

無獨有偶，陸媒日前披露，中芯獲得部分美國設備商有關14奈米及以上成熟製程的供貨許可；但10奈米以下的先進製程供貨許可仍受美國限制。

美國商務部2020年12月指中芯存在與「中國軍工集團重要實體活動的證據」，將它列入黑名單，不得銷售10奈米及以下製程的技術給中芯。不過，美國商務部也指出，容許在獲許可的前提下，銷售部分晶片的生產設備、原料給中芯，顯見相關制裁仍聚焦於先進製程。

（封面圖／中央社）