中國晶片業全村希望來了？號稱可製5奈米產品命名「阿里山」

2025/03/28 10:28 東森財經新聞記者張琬聆

中國深圳半導體設備製造商新凱來（SiCarrier），與華為關係密切，近日在上海舉行SEMICON China 2025會展，首次公開最新晶片製造設備，號稱部分設備可支援生產5奈米製程，還把其中一個產品取名為「阿里山」，被視為想挑戰全球龍頭，不過現場並未展示實體設備、只有模型，讓外媒好奇不知何時可以投入生產。

中國為突破外國對光刻機的出口限制，透過華為推動下，由新凱來悄悄開發一系列設備，想取代ASML、Applied Materials、Lam Research等國際大廠的產品。根據《日經亞洲》報導，新凱來由深圳政府支援，正在填補美國出口管制造成的供應鏈缺口。

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新凱來目前正在開發包括光刻機（Lithography）、化學氣相沉積（CVD）、物理氣相沉積（PVD）、蝕刻（Etching）、原子層沉積（ALD）等多項設備，這些技術領域過去長期由荷蘭、美國與日本企業主導，消息人士向《日經亞洲》透露，新凱來與華為的半導體專家團隊密切合作，希望打造完整的國產晶片製造生態系，被市場視為希望打造中國版ASML。

本週新凱來便在SEMICON China展會上宣布推出新款ALD設備「阿里山」（Alishan），命名靈感來自台灣著名的山脈，因此《日經亞洲》好奇，是否代表中國在半導體設備領域將進一步挑戰全球龍頭？值得持續關注。

事實上，在中國網路論壇「知乎」，「半導體產業縱橫」便號稱「新凱來火了」，因為在SEMICON China展上一口氣發布數十款裝備，涵蓋半導體製程全流程，而且都以知名山域來命名，例如擴散設備：RTP（三清山）、EPI（峨眉山）；刻蝕產品：ETCH（武夷山）；薄膜產品：PVD（普陀山）、CVD（長白山）、ALD（阿里山）；光學檢測產品：岳麗山 BFI、丹霞山 DFI、蓬萊山 PC、莫干山 MBI；光學量測產品：天門山 IBO、天門山 DBO；PX 量測產品：沂蒙山 AFM、赤壁山-XP XPS、赤壁山-XD XRD、赤壁山-XF XRF等。

《Tom'shardware》最後指出，目前尚不清楚新凱來目錄中的所有設備是否已量產，或是否能夠順利整合至現有的半導體製造生產線，尤其是那些依賴ASML、應材、KLA、Lam、東京電子（TEL）等國際設備的晶圓廠。

（封面圖／新凱來官網）

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